SW ESC(镀层 静电卡盘)
-类 性:特殊溶液镀层 静电卡盘
-特 性:静电力(吸附力)提高,使用寿命 提高
-温 度:-20℃~100℃
-真 空:ATM~10E-7
-颜色:白色 等
-应 用:Display & Semicon