6~12''Ceramic ESC(陶瓷 静电卡盘)
-类 性:烧结陶瓷,镀层陶瓷
-特 性:Coulomb型, J-R型
-温 度:-20℃~100℃
-真 空:ATM~10E-7
-颜色:米白,黑色 等
-应 用:Display & Semicon