TM ESC (透明 ESC)

-材 料：Quartz（石英）, Polycarbonate(聚碳酸酯）, Acrylic（丙烯酸），光学玻璃 等

-透过率：80%以上, 

-表面粗糙度：0.3 umRa 以下, 

-透明电极厚度：300 nm 以下，

-温 度：80℃以下

-真 空：ATM~10E^-7

-Chucking Force：15~30gf/cm² (MAX使用电压：3,000V)

-可制作尺寸：300*300mm

-平均使用寿命：~3个月（@使用电压：2,000V）

-延伸率：450%，         580%

-应 用：Display & Semicon