PI 转换 Ceramic ESC(PI 转换 陶瓷 静电卡盘)
-类 性:PI方式 转换为 CERAMIC 方式
-特 性:可解决,表面 异物微粒子 等 损伤所导致的 寿命缩短问题。(寿命 提高)
-温 度:-20℃~100℃
-真 空:ATM~10E-7
-颜色:黑色 等
-应 用:Display & Semicon